Korean Journal of Optics and Photonics. August 2019. 146~153
https://doi.org/10.3807/KJOP.2019.30.4.146


ABSTRACT


MAIN

  • I. 서 론

  • II. 본 론

  •   2.1. 광 원

  •   2.2. 렌즈 재질 선정

  •   2.3. 협각 구현의 문제점

  •   2.4. 전반사 렌즈 설계

  •   2.5. 파라볼라 반사경 및 비구면 렌즈 설계

  •   2.6. 파라볼라 반사경과 비구면 렌즈 array 결과

  • III. 결 론

I. 서 론

최근에 전자기기의 소형화 및 고성능화를 위해 내장된 반도체 및 PCB의 고집적화가 요구되고 있어 PCB, PDP, 리드프레임 등과 같은 미세패턴 연구가 활발히 이루어지고 있다. 반도체, PCB의 소형화 및 고집적화를 위해서는 칩을 구성하는 단위 소자의 크기를 줄이고 회로패턴을 미세화하는 것이 필요하다. 미세패턴을 구현하기 위한 다양한 방법이 있으나 그 중 광 노광(photo lithography) 공정의 영향을 많이 받는다. 광 노광이란 반도체 웨이퍼 표면을 덮고 있는 얇은 감광성 물질에 마스크 상의 패턴을 전사하는 공정이다[1]. 이러한 공정에서는 반도체의 미세 공정화를 위해 노광 장비의 해상력을 높임으로써 선폭을 최소화하는 방향으로 광원 개발이 이루어지고 있다. 특히 광원의 파장이 짧을수록 해상도가 높아 미세한 회로 패턴을 형성할 수 있어 반도체의 고집적화를 위해서는 UV (ultra violet)와 같은 단파장의 광원을 필요로 한다.

기본적으로 광 노광 방법에는 영상 인쇄(shadow printing)와 투영 인쇄(projection printing)의 두 가지 방법이 있다. 이 중에서 영상 인쇄는 마스크와 웨이퍼를 직접적으로 접촉시키는 접촉 인쇄와 아주 근접하게 하는 근접 인쇄로 나뉜다. 그 중 근접 인쇄는 그림 1과 같이 마스크와 웨이퍼 사이에 물리적인 접촉이 없기 때문에 마스크의 손상과 오염을 방지하며 높은 해상도와 고속 공정이 가능하다는 장점을 가진다[2].

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Fig. 1.

Proximity exposure.

노광기는 회로 패턴을 원하는 위치에 전사시켜주는 장비로 패턴을 광학적 특성의 변형 없이 기재 상에 나타내기 위해서는 노광 광학계의 특성이 매우 중요하다[3]. 따라서 미세회로 패턴을 형성하기 위해서는 조사 면적에 작은 발산각으로 입사되어야 한다. 또한, 광원에서 나온 빛이 감광제와 균일하게 반응해야 하기 때문에 높은 광효율과 조도 균일도를 가져야 한다.

본 논문에서는 그림 2와 같이 80, 160 mm 높이의 400 mm × 55 mm 조사영역에 대하여 발산각(θ) ±3.5° 이하, 조사거리 160 mm 기준 최대조도 250 mW/cm2 이상, 조도 균일도 90% 이상을 목표로 UVA LED 광원용 근접 노광기의 광학계 형상 연구를 진행하였다.

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Fig. 2.

Layout of the optical exposure system.

II. 본 론

2.1. 광 원

UV를 이용한 광 경화기는 UV 접착, UV 코팅, UV 인쇄 등 다양한 산업 분야에서 사용되고 있다. 사용 용도와 작업 환경에 따라 UV 광 경화기는 점, 선, 면 등의 조사 영역을 가지며 주로 UV lamp를 광원으로 사용한다. 하지만 낮은 에너지 효율과 짧은 수명으로 노광장치의 생산 효율이 떨어지는 문제점을 가지고 있어, 최근 에너지 효율이 높은 UV LED로 대체되는 추세이다.

따라서 본 논문에서는 파장 365 nm, 0.76 W를 가지는 LG Innotek사의 LEUV-V518A6 LED를 광원으로 선정하였다. 해당 광원은 그림 3과 같이 1.1 mm (H) × 1.1 mm (W)의 크기를 가지며 그림 4와 같은 Lambertian 배광 분포를 보인다.

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Fig. 3.

LEUV-V518A6 LED of LG Innotek.

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Fig. 4.

UVA LED light distribution.

2.2. 렌즈 재질 선정

UV 경화 공정의 효율성을 높이기 위해서는 다양한 분야에서 사용하는 용도에 따라 빔의 크기, 조도 값, 균일도, 열적 특성이 고려되어야 하며 광학계를 설계하고 제작할 시 재료의 특성이 고려되어야 한다. 특히 자외선 파장 중 UVA영역의 특수한 파장대를 광원으로 사용하므로 해당 파장 영역에서의 투과율 및 굴절률을 고려한 설계가 필요하다[4].

따라서 본 논문에서는 투과율 및 제작 가능성에 적합한 MS-1002 Moldable Silicone으로 재질을 선정하였다. 해당 재질의 파장별 투과율과 굴절률은 그림 5와 같다.

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Fig. 5.

Spectral transmissivity and refractive index of MS-1002 Moldable Silicone.

2.3. 협각 구현의 문제점

일반적으로 각도를 제어하는데 사용되는 광학계는 FWHM 120°로 발산하는 LED 광원과 단일 렌즈로 구성되어 있다. 렌즈가 제어하는 광경로에 따라 노광 성능이 달라지기 때문에 발산광이 노광면에 수직한 형태로 진행할 수 있도록 광학계를 설계해야 한다.

그림 6은 LED 중심에서 나오는 광이 단일 렌즈를 지나 평행하게 발산할 때의 광학계 layout이다. 그림 6과 같이 LED 중심에서 r만큼 떨어진 점 v'에서 나오는 광은 렌즈를 지나 θ만큼 광축에서 기울어져 발산하게 된다. 이때 LED로부터 떨어진 거리를 렌즈의 초점거리 f라 하고 발산각을 θ라 할 때 식 (1)을 도출할 수 있다. 따라서 선정된 광원의 지름이 1.1 mm일 때, 목표 발산각도 ±3.5°를 만족하기 위한 초점거리 f는 9 mm 이상의 값을 가져야 한다.

$$\tan\theta=\frac rf,\;\theta=\tan^{-1}\frac rf$$ (1)

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Fig. 6.

Analysis of the luminous intensity with a single lens.

목표 발산각(θ) ±3.5° 이하를 가지면서 조사영역 400 mm × 55 mm에서 최대조도 250 mW/cm2를 만족하기 위해서는 최소 80개 이상의 LED가 사용되어야 한다. 최소 LED 개수인 80개를 조사영역에 맞게 배열한다면 LED의 간격은 약 20 mm로 계산되며 이 값은 렌즈의 최대 직경이다.

위에서 제시한 최소 초점거리 9 mm 및 최대 직경 20 mm로 그림 7과 같은 단일 렌즈 설계 시 –50° ~ +50°에 해당하는 광은 단일 렌즈로 제어가 가능하지만 그 밖의 광들은 렌즈에 입사되지 않아 광손실을 발생시키는 문제점이 생긴다. 따라서 광효율을 증가시키기 위해서는 모든 광을 제어할 수 있는 추가적인 광학계가 필요하다.

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Fig. 7.

Analysis of the luminance efficiency with a single lens.

2.4. 전반사 렌즈 설계

협각 구현의 문제점을 해결하기 위해 본 논문에서는 전반사 렌즈의 형태를 고안하였다. 전반사 렌즈는 목표 발산각을 만족시키면서 손실이 거의 발생하지 않아 높은 효율을 갖는 광학계이다. 따라서 Lambertian 배광 분포를 가지는 LED에서 발산되는 빛을 제어하기에 적합하다[5].

본 논문에서는 그림 8과 같이 LED에서 작은 발산각으로 방출되는 빛을 제어하는 곡면을 Part 1, 큰 발산각으로 방출되는 빛을 제어하는 곡면을 Part 2라고 제시하였으며 식 (2)의 2차 베지어 곡선의 수식을 이용하여 설계를 진행하였다.

$$P(t)=(1-t)^2P_0+2t(1-t)^2P_1+t^2P_2,\;0\leq t\leq1$$ (2)

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Fig. 8.

Total internal reflection lens.

렌즈의 재질은 2.2절에서 설명한 바와 같이 MS-1002 Moldable Silicone으로 적용하였고 LightTools의 sweptsolid 기능을 활용하여 설계한 결과, 렌즈 직경은 16.2 mm, 배광 각도는 6.5°, 조사거리 80 mm에서 광효율 82.8%, 160 mm에서 광효율 77%를 갖는다.

조사거리 160 mm에서 최대조도 250 mW/cm2 이상을 만족시키기 위해서는 광학계 간의 간격이 중요하다. 그림 9는 직경 16.2 mm인 전반사 렌즈로 최대조도를 만족시킬 수 있는 간격을 도출하고자 시뮬레이션 분석을 진행한 그래프이다. 렌즈 간 간격이 가까울수록 최대조도가 높아지지만, 12.5 mm 보다 가까워지면 최대조도 값이 낮아지는 것을 확인하였다. 조사거리 80 mm에서 최대조도 280 mW/cm2, 160 mm에서 최대조도 318 mW/cm2로 가장 높은 값을 갖는 광학계 간의 간격이 12.5 mm임을 확인하였다.

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Fig. 9.

Analysis of the lens interval.

광원과 전반사 렌즈를 배열했을 때 전반사 렌즈의 직경이 16.2 mm로 그림 10(a)과 같이 렌즈 사이에 겹치는 부분이 발생하였다. 분석한 결과, 최대조도는 만족하였으나 큰 발산각을 제어했던 Part 2의 일부에서 빛이 겹쳐 기존의 면이 아닌 다른 방향으로 광이 나아가는 것을 그림 10(b)에서 확인할 수 있다. 따라서 미세회로 패턴을 형성하기 위해 좁은 발산각, 최대조도, 균일도 세 가지의 성능을 필요로 하는 UVA LED 광원용 근접 노광기에 전반사 렌즈는 적합하지 않다.

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Fig. 10.

Beam layout of the arranged total internal reflection lens.

2.5. 파라볼라 반사경 및 비구면 렌즈 설계

2.5.1. 파라볼라 반사경 설계

앞선 설계 및 분석을 통하여 최대조도, 균일도를 모두 충족시키기 위해서는 더 작은 광학계의 설계가 필요하다. 이를 해결하기 위해 그림 11과 같이 포물면 형태의 반사경으로 빛을 제어하는 방식을 제시하였다. 파라볼라 반사경의 가장 큰 특징 중 하나는 초점에서 나가는 빛을 반사시켜 축에 평행하게 내보낸다는 점이다. 이러한 파라볼라 반사경을 설계하기 위해서는 직경과 초점을 정해야 한다.

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Fig. 11.

Parabolic reflector.

그림 12(a)는 선정된 1.1 mm (H) × 1.1 mm (W)의 LED에 대하여 양 끝 v, v'에서 방출된 광속이 파라볼라 반사경의 임의의 점 p1, p2, p3로 입사할 때의 각 θ1, θ2, θ3의 범위를 나타내는 그림이다. 만약 LED의 중심점 c에서 방출된 광속이 p1, p2, p3로 입사 후 곡면에 반사되어 평행광으로 나간다고 가정한다면 발산각 또한 θ1, θ2, θ3와 동일한 각도를 가지고 방출된다[6].

위와 같은 원리로 -85°θd-50°, +50°θd+85°의 LED 발산각을 제어할 수 있는 파라볼라 반사경의 크기를 도출할 수 있다. 발산각(θ1)을 6°로 목표할 때, 파라볼라 반사경으로 제어할 광원의 범위 중 가장 작은 각인 50°로 θd를 고정하면 p1x, y좌표가 그림 12(b)와 식 (3)으로 표현된다. 따라서 x = 4.64 mm, y = 4.35 mm이고 파라볼라 반사경의 직경은 10.38 mm로 계산된다.

$$\begin{array}{l}\frac y{x+0.55}=\tan(90-\theta_d)=\tan40^\circ\\\tan^{-1}\left(\frac yx\right)-tan^{-1}\left(\frac y{x+1.1}\right)=\theta_1=6^\circ\end{array}$$ (3)

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Fig. 12.

Diameter of the parabolic reflector.

광원의 위치가 되는 파라볼라 반사경의 초점은 반사경의 직경과 포물선 공식을 사용하여 구할 수 있다. 그림 13과 같이 파라볼라 반사경의 직경을 D, 초점을 fP, 길이를 d, 초점과 길이의 차를 fL이라고 가정할 때, 파라볼라 반사경의 초점은 식 (4)와 같다. 직경 D는 10.38 mm이며, fLy와 같으므로 4.35 mm이다. 따라서 파라볼라 반사경의 초점 fP는 1.21 mm이다.

$$\begin{array}{l}y=ax^2=d(2x/D)^2\\Parabolic\;Reflector\;Distance\;(d)=f_L+f_P\\f_p=\frac{D^2}{16d}=\frac{D^2}{16(f_L+f_P)}\end{array}$$ (4)

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Fig. 13.

Focal length of the parabolic reflector.

식 (3), 식 (4)에서 구한 직경과 초점으로 파라볼라 반사경 설계를 진행하였다. 반사경의 재질에 따라 반사 특성이 다르기 때문에 본 논문에서는 일반적으로 많이 사용되는 알루미늄을 반사경의 재질로 선정하였고, UVA 영역에서 반사율 90%를 적용하였다. 파라볼라 반사경의 시뮬레이션 결과, 배광 각도는 6.43°, 조사거리 80 mm에서 광효율 42.36%, 160 mm에서 광효율 34.95%로 측정되었다.

하지만 그림 14와 같이 파라볼라 반사경만을 사용한다면 광학계를 거치지 않고 방출되는 약 75%의 광속으로 인해 광효율이 매우 떨어진다. 따라서 광효율을 높이기 위해 추가적인 광학계를 설계하여 제어되지 않는 광속이 없도록 해야 한다.

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Fig. 14.

Uncontrolled ray at the parabolic reflector.

2.5.2. 비구면 렌즈 설계

파라볼라 반사경을 거치지 않고 방출되는 광속을 제어하기 위해 비구면 렌즈를 사용하였다. 비구면 렌즈란 두 개 이상의 곡률이 존재하는 곡면의 형상으로 구면렌즈를 2, 3매 사용하는 것과 동일하며 좁은 초점거리에서도 빛을 평행하게 보낼 수 있다[7].

파라볼라 반사경으로 제어한 광원의 발산각 범위가 ±50° ~ ±85°이므로 비구면 렌즈로 제어할 영역은 ±0° ~ ±50°이다. 이때 실제 LED 광원은 면광원이므로 2.4.1절과 같이 LED 끝단에서 발산하는 광을 고려해야 한다.

그림 15는 파라볼라 반사경과 비구면 렌즈로 구성된 layout이다. 점선 A는 LED의 ±50° ~ ±85°의 범위에 해당하는 광들이 파라볼라 반사경의 곡면에 반사되어 평행광을 이루는 광속의 방출 영역이다. 점선 B는 파라볼라 반사경으로 제어되지 않는 LED의 ±0° ~ ±50° 범위에 해당하는 광들을 비구면 렌즈로 제어한 광속의 방출 영역이다.

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Fig. 15.

Diagram of the aspherical lens.

만약 비구면 렌즈가 LED 가까이에 위치한다면 광학계의 크기가 작아지지만 광학계의 초점 거리가 짧아 발산각을 제어하기가 어렵다. 반대로 LED로부터 먼 거리에 위치하게 되면 광학계의 초점거리는 확보하게 되지만 B 영역의 광을 제어하기 위해 렌즈의 직경이 커져 A 영역을 침범하게 되므로 파라볼라 반사경에 의해 평행으로 된 광속들에 영향을 미치게 된다. 이를 방지하기 위해 비구면 렌즈의 직경을 줄인다면 광학계를 거치지 않고 방출하는 광선이 발생하고, 이는 광손실을 이끈다. 따라서 중앙에 놓이게 되는 광학계의 최적 위치 및 크기는 B 영역을 침범하지 않으면서 파라볼라 반사경에서 제어하지 못한 대부분의 발산각을 제어할 수 있도록 설계해야 한다[6].

그림 16은 비구면 렌즈의 위치와 크기를 도출하기 위한 점 pS를 나타낸 그림이다. LED 중심에 위치한 광원이 50°로 발산하여 파라볼라 반사경 곡면에 점 p50°로 입사할 때, 점 v'과 점 p50°를 연결한 선 v'50°와 85°로 발산하여 평행광으로 반사된 선 c85°가 교차하는 점 pS를 도출할 수 있다. 이때 점 pS는 비구면 렌즈의 직경과 위치를 나타내는 좌표가 된다.

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Fig. 16.

Calculation of the size of aspherical lens.

pS를 이용하여 비구면 렌즈의 위치와 직경을 계산한 후 2.5.1에서 설계한 파라볼라 반사경이 제어하지 못한 광을 비구면 렌즈가 제어하도록 설계를 진행하였다. 그림 17은 파라볼라 반사경과 비구면 렌즈로 구성된 광학계의 시뮬레이션 결과이다. 이때 배광 각도는 6.36°, 조사거리 80 mm에서 광효율 67.08%, 160 mm에서 광효율 48.31%로 측정되었다. 이는 파라볼라 반사경만을 사용했을 때보다 약 1.5배 향상된 광효율을 가진다.

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Fig. 17.

Simulation results of the parabolic reflector and aspherical lens.

2.5.3. 렌즈 제작 고려 시 결과 분석

위 그림과 같이 구성된 파라볼라 반사경과 비구면 렌즈 광학계는 제작 시 개별 렌즈 고정 핀이 필요하다. 제작을 고려하여 그림 18(a)와 같이 렌즈 고정을 위한 렌즈 고정 핀을 구현하여 시뮬레이션을 진행하였다. 이때 배광 각도는 6.5°, 조사거리 80 mm에서 광효율 61%, 160 mm에서 광효율 43%로 측정되었다. 이는 렌즈 고정 핀으로 인해 광효율이 기존 대비 9% 떨어졌지만 조도 분포, 배광 각도에 큰 차이가 없는 것으로 측정되었다.

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Fig. 18.

Simulation results of the parabolic reflector and aspherical lens with a pin.

2.6. 파라볼라 반사경과 비구면 렌즈 array 결과

본 논문에서는 협각 구현의 문제점을 해결하기 위해 설계한 파라볼라 반사경과 비구면 렌즈로 구성된 광학계의 성능 값을 분석하였다. 표 1은 제작까지 고려한 광학계를 토대로 간격을 가로 10.8 mm, 세로 9.4 mm로 지정하여 삼각 배열한 모습과 시뮬레이션 결과를 보여준다. 전체 ray 수는 15,000,000개로 하였으며, mesh 수는 400 × 1로 하여 error율은 3% 이내로 시뮬레이션하였다.

Table 1. Simulation results of the parabolic reflector and aspherical lens

http://static.apub.kr/journalsite/sites/kjop/2019-030-04/N0140300403/images/kjop_30_04_03_T1.jpg Illuminance of 80 mm distance
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Illuminance of 160 mm distance
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Parabolic reflector and aspherical lens
Size 467.84 mm × 39.08 mm
Flux efficiency (80 mm / 160 mm) 57% / 46%
Beam angle 6.5°
Maximum illuminance (80 mm / 160 mm) 344.6 mW/cm2 / 280 mW/cm2
Uniformity (80 mm / 160 mm) 95.6% / 94.1%
uniformity (%)=minaverage×100.

파라볼라 반사경과 비구면 렌즈 광학계는 각도 6.5°, 조사거리 80 mm에서 최대조도 344.6 mW/cm2, 균일도 95.6%, 조사거리 160 mm에서 최대조도 280 mW/cm2, 균일도 94.1%를 갖는다. 이는 배광 각도, 최대조도, 균일도의 목표 성능을 모두 만족함을 보여준다.

III. 결 론

본 논문에서는 좁은 광속각과 높은 최대조도 및 균일도를 가지는 근접식 노광의 렌즈 설계 연구를 진행하였다. 일반적으로 각도를 제어하는데 사용되는 단일 렌즈는 원하는 광속각을 구현하는데 광속 효율이 저하된다는 문제점이 있다. 광 효율을 증가시키기 위한 대안으로서 배광 각도를 제어할 수 있는 투과형 타입인 전반사 렌즈, 반사형 타입인 파라볼라 반사경과 비구면 렌즈 두 가지 타입을 설계 및 비교 분석하였다.

투과형 타입인 전반사 렌즈의 경우, 목표 발산각을 만족시키면서 높은 효율을 갖는 광학계지만 최대조도를 고려한 광학계 배열이 진행되었을 때 렌즈간 중첩으로 인해 각도를 유지하기 힘들다는 단점이 있어 근접 노광 광학계에는 적합하지 않다. 따라서 파라볼라 반사경으로 ±50° ~ ±85° 범위의 LED 발산각을 제어하고 ±0° ~ ±50°의 중심 발산각을 비구면 렌즈로 제어하는 반사형 타입의 설계를 진행하였다. 가로 10.8 mm, 세로 9.4 mm로 지정하여 삼각 배열한 결과, 조사거리 80 mm에서는 최대조도 346 mW/cm2, 균일도 98.5%, 조사거리 160 mm에서는 최대조도 282 mW/cm2, 균일도 97.8%, 각도 6.5°로 목표 성능을 모두 만족한 것을 확인하였다.

이후 비구면 렌즈의 제작을 고려하여 렌즈 고정 핀 추가 설계를 진행한 결과도 조사거리 80 mm에서는 최대조도 344.6 mW/cm2, 균일도 95.6%, 조사거리 160 mm에서는 최대조도 280 mW/cm2, 균일도 94.1%, 각도 6.5°로 목표 성능을 모두 만족시켰다.

따라서 본 논문에서는 근접식 노광의 미세 패턴 형성 성능을 위하여 최대조도 250 mW/cm2 이상, 균일도 90% 이상, 발산각(θ) ±3.5° 이하를 가지는 파라볼라 반사경과 비구면 렌즈를 근접식 노광 광학계로 제시하였다.

References

1 

G. S. May and S. M. Sze, “Photolithography” in Fundamentals of semiconductor fabrication, 6th Ed. (John Wiley & Sons, NY, 2003), Chapter 4.

2 

M. H. Kim, “Design and analysis of compact exposure using UV LED,” Dankook University, Gyeonggi (2015), p. 4.

3 

S. S. Bae, Y. W. Jung, Y. R. Kim, C. H. Song, J. Y. Song, and D. H. Kim, “Design of projection optics system for FPD exposure,” in Proc. KSPE Annual Meeting (KSPE, Korea, Oct. 2004), p. 2.

4 

H. W. Jo, “The research of the optical focusing method using UVA LED array,” Korea Polytechnic University, Gyeonggi (2017), p. 4.

5 

J. H. Seo, J. S. Lee, S. Y. Kim, Y. J. Jeong, H. J. Park, D. Y. Nam, and M. S. Jung, “Design of a bar-type TIR lens having a freeform surface for forming a line beam using an LED light source,” J. Opt. Soc. Korea 28, 295-303 (2017).

6 

B. J. Kim, “Optimal design of LED lamp optics with a large area LED package for fulfilling a narrow beam angle,” Inha University, Incheon (2014), pp. 9-11.

7 

D. K. Lee, “A study on development of an aspheric lens for the semiconductor laser applications,” Chonnam National University, Gwangju (2014), p. 3.

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